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2004年,中国真空学会真空科技成就奖2003年,国家杰出青年基金2000年,北京市科技进步二等奖,磁性薄膜材料中若干基础性问题的研究,第一获奖人1999年,教育部跨世纪人才基金1999年,国家自然科学三等奖,离子束材料改性中若干基础问题的研究,第五获奖人1999年,科技部科技进步二等奖,中国材料信息网络的建立与开发,第五获奖人1998年,北京市科技进步一等奖,离子束材料改性中若干基础问题的研究,第五获奖人2018年11月,获颁何梁何利基金科学与技术进步奖“冶金材料技术奖”。