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李志坚主要成就

获奖时间	获奖项目	奖项等级
1987年7月	大规模、超大规模集成电路研制及3微米工艺技术开发	国家科学技术进步二等奖
1991年10月21日	离子注入半导体瞬时退火设备	中国专利金奖
1993年12月1日	1-1.5微米成套工艺开发及一兆位汉字库只读存储器	国家科学技术进步一等奖

获奖时间	奖项	颁发单位
1979年	北京市劳动模范
1979年12月	全国劳动模范
1984年	国家级有突出贡献的中青年专家
1991年	中国科学院学部委员（院士）	中华人民共和国国务院
1997年	陈嘉庚信息科学奖
2000年	何梁何利基金科学与技术进步奖
2003年	清华大学“教书育人奖”

科研综述20世纪50年代初，李志坚在半导体薄膜光电导和光电机理研究中，提出电子晶粒间界理论，在此基础上研制成高信噪比硫化铅红外探测器。1959年研制成高超纯多晶硅。20世纪60年代从事硅器件研究，其中平面硅工艺及高反压硅高频三极管成果，促进了中国国内有关的研究和生产。1977年以后主要从事大规模、超大规模集成技术及器件物理的研究，领导、指导和直接参与了多种静态存储器，8位、16位高速微处理器、电可擦除可编程只读存储器（EEPROM）和1兆位汉字ROM等超大规模集成电路芯片的研制工作，并取得成功。同时开发出3微米和1微米成套工艺技术。指导并发明半导体红外高速退火技术和设备。学术论著截至2016年11月，李志坚主编出版了《半导体材料硅》《MOS大规模集成技术》《微电子技术中的MOS物理》等书，在中国国内外发表了论文200余篇。MOS大规模集成技术进展.见:MOS大规模集成技术（上册）[M].北京:科学出版社，1984.硅耗尽层少于产生率的强电场效应[J].半导体学报，1985，6(1):1.硅耗尽层准二维系统室温电子隧道能谱[J].半导体学报 ,1985, 6(3):236.MOS 界面电荷瞬态谱方法[J].半导体学报.1985，6(5):458.MOS 技术中的 Si-Si0₂介面物理.见:半导体器件研究与发展[M].北京:科学出版社，1988.一种新的 MOS 电流型逻辑电路[J].电子学报，1988，10(2)，51.VLSI 成品率统计中的缺陷成因效应及统计参数与面积的关系[J].半导体学报，1988,9(3):245.( 合作者 : 张钟宣 )一种新的有沟道注入的短沟 MOSFET 的调电压解析模型[J] .电子学报，1990，18(11): 9.( 合作者 : 陈文同 )A novel pressure sensor structure for integrated sensor Sensots and Actuatore[J]. 1990, (A21-23):62.(with Wang Yuelin,Liu Litian).Defect free silicon film on silion dioxide formed by some melting recrystallization with high apeed, IEEE Trane, on Electron Devices[J].1990,ED37:952.(with Liu Lianjun, Qian Peixin).90年代的微电子技术[J].中国科学院院报，1991(1):23.一种基于浮栅 NMOS 晶体管的可编程神经网络芯的设计和应用[J]，电子学报 ,1992,20(10):48.滑雪崩应力下热电子注入引起的 MOSFET 退变特性研究[J].半导体学报 ,1993,14,12:723.( 合作者 : 程玉华、要瑞伟 ).The on-ehip detection of micromotor rotational speed.Sensors and Actuators[J],1995,A48:81.(with Sun Xiqing,Liu Litian).一种对称高分辨精度的多端电流 MAX 门和 MIN 门电路[J].半导体学报，1995,16,6:453.( 合作者 : 李斌桥、石秉学 ).New methods for measuring mechanical properties of thin films in micro-machining, beam pull-in voltage (VPI)method and long beam deflection (LBD)method.Sensors and Actuators[J],1995,A48:137.(with Li Binqiao,shi Bingxue).BMHMT----Bi-MOS 混合模式晶体管[J].电子学报，1995,23,11:11.( 合作者 : 陈萍、刘理天 )一种模拟集成电路 Hamming 神经网络及其应用[J].半导体学报，1996，17(3):217.( 合作者 : 李斌桥、石秉学 ).Design and fabrication of single wafer silicon condensor microphone using corrugated diaphragm.IEEE J.of MEMS[J],1996:5(3).(with Zou Quanbo,Liu Litian).科研成果奖励学生培养李志坚长期在高等学校任教，是解放后中国首批博士生导师，培养了许多微电子和其他方面的优秀人才。他培养的学生有很多，如中国科学院微电子所的吴德馨院士和中国科学院半导体所的郑厚植院士，如创办展讯通信有限公司并获国家科技进步一等奖的陈大同博士和数次担任国家科技部973项目首席科学家的中科院微电子系统所王跃博士。教授课程李志坚的教授课程凝聚态物理。研究领域李志坚的研究领域为半导体物理。